Camera bianca

L’Istituto ha a disposizione una camera bianca per la fabbricazione di campioni e dispositivi da laboratorio. La strumentazione disponibile comprende: una sezione per la pulizia dei campioni con varie apparecchiature e cappa chimica; una sezione di litografia ottica con spin coating, mask-aligner, forni; una sezione per la fabbricazione di films e di strutture, ad esempio reticoli, su films. Relativamente a quest’ultima sezione sono disponibili varie apparecchiature:spin coating, evaporatore a due camere e cannone elettronico, sputtering e plasma etching.

Nella camera è anche disponibile un microscopio ottico e un taly-step per la misura di profili di films.

La proprietà delle principali apparecchiature è in parte a comune con il gruppo Righini (mask aligner, microscopio, forni e un vecchio spin-coating), in parte è di proprietà del gruppo Righini (taly-step, sputtering, plasma-etching) ed in parte appartiene all’ISC (spin-coating, evaporatore a due campane con cannone elettronico, adatto ad evaporare sia metalli che materiali organici)

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